全自動LED Wafer量測分類儀
SemDex AR13
♦ 可量測2"-8"LED Wafer之TTV, LTV, Bow/Warp, Roughness
♦ 最快可達100 wafers/hr
♦ 取樣量測點數為每秒4000點
♦ 可選配SECS/GEM傳輸介面
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